云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 冯辰

冯辰: 作品数：1被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国矿业大学机电工程学院更多>>; 发文主题：MEMS分辨力摩擦副磨损微摩擦更多>>; 发文领域：机械工程更多>>; 发文期刊：《微纳电子技术》更多>>; 所获基金：江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目江苏省自然科学基金更多>>

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MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展被引量：3: 《微纳电子技术》2016年第8期520-526,共7页冯辰刘同冈商金玮赵志强; 江苏省自然科学基金资助项目(BK20131114);江苏省大学生实践创新训练计划资助项目(201510290020Y);中国矿业大学大学生创新创业基金立项大学生创新项目(201511); 相对于传统机械而言,微机电系统(MEMS)器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键。针对开展MEMS微观摩擦磨损研究的需要,概述了常用的微观摩擦磨损测试仪器,包...; 关键词：微电子机械系统(MEMS) 微摩擦磨损摩擦副测试仪器分辨力