郝娟婷

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供职机构：北京师范大学生命科学学院细胞增殖及调控生物学实验室更多>>
发文主题：抗反射单晶硅微结构更多>>
发文领域：理学更多>>
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倒锥形抗反射表面微结构的构筑
《高等学校化学学报》2012年第2期361-364,共4页郝娟婷 何大澄 郝娟媛 
国家自然科学基金(批准号:20773052);国家“九七三”计划项目(批准号:2009CB939701)资助
利用Langmuir-Blodgett(LB)技术在单晶硅表面转移岛状硬脂酸单层膜图案,通过各向异性的湿法刻蚀构筑倒锥形表面微结构.倒锥形结构的深度及表面抗反射性能主要与刻蚀的时间有关.这种方法结合了自组装面积大和湿法刻蚀成本低的优点,是一...
关键词：LB单层膜 倒锥形微结构 单晶硅 抗反射 
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