祝文

作品数：1被引量：2H指数：1
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非对称双极脉冲磁控溅射沉积氮化铬铝涂层的微观结构和硬度被引量：2
《稀有金属材料与工程》2010年第A01期48-51,共4页李明升 范永中 张淑娟 祝文 段为梁 
江西省自然科学基金项目(0650034);江西省教育厅科技项目(GJJ08365)资助
利用非对称双极脉冲磁控溅射技术,双极分别接纯铬靶和纯铝靶,通过调整两靶的功率,以反应溅射的方式沉积不同铬铝比的氮化铬铝涂层。研究不同Al含量的氮化铬铝涂层的结构和硬度。所获得的涂层依次为Cr0.95Al0.05N、Cr0.9Al0.1N、Cr0.83Al...
关键词：非对称双极脉冲磁控溅射:氮化铬铝涂层 微观结构 硬度 
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