曹盛

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喷淋式GaN-MOCVD反应室的数值模拟及研究
《橡塑技术与装备》2015年第16期7-9,共3页罗磊 曹盛 汤绘华 
本文以低压、旋转、垂直喷淋式的Ga N-MOCVD反应室为研究对象,运用计算流体力学(CFD)方法对反应室内部的输运过程进行了比较详细数值模拟及研究。数值模拟研究结果发现:在一定外延材料工艺生长参数范围内,加大进气流量(Q)可以有效抑制...
关键词：GaN-MOCVD反应室 数值模拟 CFD 热浮力效应 
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