卫桁

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：划片机空气轴承动平衡主轴电机热变形更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》《铸造技术》更多>>
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频谱谐波振动时效技术在切割机底座中的应用被引量：1
《铸造技术》2013年第2期243-245,共3页杨宽 卫桁 
应用频谱谐波技术对切割机的底座进行了振动时效处理,并采用金属磁记忆应力检测法测试了工件振动时效前后的残余应力。结果表明,频谱谐波振动时效技术能够有效降低并均化底座的残余应力,可广泛用于大型铸件残余应力的消除。
关键词：振动时效 频谱谐波 残余应力 铸件 底座 
划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究被引量：5
《电子工业专用设备》2010年第6期16-20,共5页王明权 卫桁 
国家科技重大专项:极大规模集成电路制造装备与成套工艺国家科技重大专项;封装设备关键部件与核心技术项目;高速空气静压电主轴课题(2009ZX02021-001)资助项目
划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术。
关键词：空气静压电主轴 空气轴承 主轴电机 动平衡 热变形 
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