云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 白本锋

白本锋: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：中国计量科学研究院更多>>; 发文主题：衬底氮化硅薄膜介质层制作方法应力释放更多>>; 发文领域：化学工程理学电子电信更多>>; 发文期刊：《微纳电子技术》更多>>

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室温纳米压印制备多尺度金碗-金豆纳米天线阵列: 《微纳电子技术》2017年第3期173-180,共8页朱振东施玉书李伟高思田白本锋张立辉李群庆范守善; 国家质量基础的共性技术研究与应用资助项目(2016YFF0200602);国家纳米科技重点研发计划资助项目(2016YFA0200901); 金属纳米结构表现出独特的光电效应,在表面等离激元器件、超分辨光学成像、全光集成等领域有广泛应用。针对一种有实际需求的金碗-金豆(PIC)高分辨纳米腔的研制,提出了基于室温纳米压印技术,结合多参数各向异性刻蚀技术,研究并解决金碗...; 关键词：多尺度纳米刻蚀金碗-金豆(PIC) 室温纳米压印双层抗刻蚀剂微相分离