周东伟

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：同济大学更多>>
发文主题：MGF2AL反射率反射镜真空紫外更多>>
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真空紫外Al/MgF_2反射镜被引量：5
《光学精密工程》2015年第4期913-918,共6页王风丽 周东伟 张金帅 王占山 
国家重大科学研究计划资助项目(No.2011CB922203);上海科委纳米专项资助项目(No.11nm0507200)
采用三步热舟蒸发制作法研制了真空紫外Al/MgF2反射镜,研究了改善制备工艺有效提升反射率的方法。在两层Al/MgF2反射镜制备过程中,第一步在室温石英基板上快速蒸发厚约70nm的铝膜;第二步在铝膜表面迅速蒸发厚约10nm的MgF2;第三步先对基...
关键词：真空紫外反射镜 Al/MgF2反射镜 基板温度 反射率 
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