黄杨

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提高氢化炉安全运行可靠性的自动控制方案研究
《机电信息》2015年第18期67-68,共2页宋永刚 黄杨 朱洪江 
改良西门子法生产多晶硅是当今多晶硅生产主流工艺,在生产电子级多晶硅过程中,确保四氯化硅热氢化生产平稳长周期运行,消除因异常情况处理不及时或人为误操作造成的经济损失,是多晶硅企业必须解决的关键问题。现从实际生产出发,分析总...
关键词：氢化炉 安全运行 自动控制 
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