程琳

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学院上海应用物理研究所更多>>
发文主题：显微成像更多>>
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显微成像测量精密狭缝的重复精度被引量：2
《核技术》2010年第7期481-485,共5页程琳 宋丽 马春桃 罗红心 王劼 
国家大科学工程光学精密测试项目(ss-08)资助
上海光源(SSRF)光束线站上使用的精密光学狭缝要求重复精度小于1μm,在精密狭缝安装到光束线站前需要在线或者离线对其进行重复精度测量。提出了基于高分辨率CCD和高倍率镜头的机器视觉测量系统,设计出一种图像多级滤波的数据处理方法,...
关键词：精密狭缝 重复精度 显微成像 面内位移 
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