吴丹宁

作品数：1被引量：11H指数：1
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：光学器件光复用技术脊形波导可调谐滤波器微环谐振腔更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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基于微环谐振腔的可调谐滤波器的研究被引量：11
《光学学报》2016年第1期254-260,共7页吴丹宁 吴远大 王玥 安俊明 胡雄伟 
国家863计划(2013AA031402);国家自然科学基金(61274047;61275029;61205044)
采用深紫外光刻及等离子体刻蚀等工艺制备基于绝缘体上硅材料的环形滤波器,且微环半径仅为5μm。制备基于单微环的4通道光分插复用器,器件尺寸仅为3000μm×500μm。测试结果表明,该器件可以很好地实现上下载功能。其自由频谱宽度约为19...
关键词：光学器件 脊形波导 可调谐滤波器 电光调制器 光复用技术 谐振腔 
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