云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 李记赛

李记赛: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：华中科技大学更多>>; 发文主题：波前仿真光电子学高性能更多>>; 发文领域：理学机械工程更多>>; 发文期刊：《中国激光》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>

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折射微光学结构出射复杂光学波前: 《中国激光》2008年第8期1156-1160,共5页张新宇李记赛季安谢长生; 国家自然科学基金(60777003);控制与仿真技术国防科技重点实验室基金(51474020205JW0517);航天创新技术基金(20060122);武汉光电国家实验室重点基金资助项目; 通过单掩模紫外(UV)光刻、感应耦合等离子体(ICP)刻蚀及KOH∶H2O化学腐蚀,在硅片上制作5×5元面阵硅折射微光学结构.通过电化学方法将制成的硅精细图形结构转换成镍版,进而通过压制法将精细的镍版图形进一步转印到有机玻璃材料上,从而...; 关键词：光电子学折射微光学结构波前制备工艺高性能成像探测和仿真