李彬

作品数:1被引量:2H指数:1
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供职机构:西南大学材料与能源学部更多>>
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磁过滤阴极弧法制备CrCN薄膜结构与组分研究被引量:2
《表面技术》2017年第1期9-14,共6页王浩琦 覃礼钊 官家建 李彬 林华 李元 梁宏 廖斌 
国家自然科学基金项目(11305009);射线束技术与材料改性教育部重点实验室开放课题资助项目(201411);博士基金(西南大学)资助项目(104230-20710909)~~
目的通过磁过滤阴极弧沉积技术制备质量优异的CrCN涂层。研究乙炔/氮气混合气体流量以及基底偏压对薄膜结构和成分的影响。方法采用磁过滤真空阴极弧沉积技术,在20~100 m L/min变化的乙炔/氮气混合气体流量参数下沉积CrCN复合薄膜。通过...
关键词:CrCN 结构分析 磁过滤真空阴极弧沉积 X射线光电子能谱 
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