孟繁强

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Ge2Sb2Te5相变薄膜的结构及结晶温度研究
《吉林化工学院学报》2016年第9期41-44,共4页刘巧丽 刘军伟 孟繁强 王璐 李廷取 
利用射频磁控溅射法在室温下沉积了GST相变薄膜,利用XRD、AFM对其结构进行表征,原位XRD及DSC测试确定其结晶温度.（原位）XRD测试表明,室温下沉积的GST薄膜为非晶态,且在室温-375℃温度范围内,样品经历了非晶态→立方晶态→六方晶态相转...
关键词：相变材料 Ge2Sb2Te5 结构 DSC 结晶温度 
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