云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 陆振华

陆振华: 作品数：1被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>; 发文主题：SU-8PDMS微芯片黏附性塑性成型更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《功能材料与器件学报》更多>>; 所获基金：上海市科委科技攻关项目上海-AM基金上海市科委纳米专项基金国家重点基础研究发展计划更多>>

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用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化被引量：3: 《功能材料与器件学报》2008年第3期639-644,共6页陆振华许宝建金庆辉赵建龙; 国家重点基础研究发展规划项目(973计划)(No.2005CB724305);上海市科技攻关计划项目(No.051111019);上海市科委纳米专项(No.0652nm016);上海-AM基金(No.0510); PDMS是制作微流控芯片的主要材料。PDMS芯片制作的主要方法是模塑法,模塑法要求有良好的塑性成型模具。SU-8以其良好的微加工特性,目前已广泛应用于微机械结构的制作,也用于PDMS塑性成型的模具。本文根据模具的特殊性,如平整、无裂纹、...; 关键词：PDMS 塑性成型 SU-8模具黏附性