王琪

作品数：1被引量：3H指数：1
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发文主题：掩膜板图案制作方法AL电极TFT更多>>
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TFT-LCD器件Al电极TFT特性研究被引量：3
《液晶与显示》2017年第6期433-437,共5页张家祥 王彦强 卢凯 张文余 王凤涛 冀新友 王亮 张洁 王琪 刘琨 李良杰 李京鹏 
本文对Mo/Al/Mo作为TFT-LCD器件源/漏极的TFT特性进行了研究。与单层Mo相比,存在沟道界面粗糙,I_(off)偏大问题,通过优化膜层结构,改善界面状态,得到了平整的沟道界面和良好的TFT特性。增加Bottom Mo的厚度,可以有效减少Al的渗透,防止Al...
关键词：沟道界面 漏电流 AL电极 TFT特性 
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