富迪

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文主题：医学超声成像MEMS硅压电超声换能器二维阵列更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》更多>>
所获基金：北京市科委基金国家高技术研究发展计划更多>>
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MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法被引量：3
《微纳电子技术》2011年第8期523-527,共5页富迪 陈豪 杨轶 任天令 刘理天 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z372);北京市科委基金资助项目(GYYKW05070013)
针对超声换能器阵列中阵元密度难以提升和工艺重复性差等问题,提出了一种基于硅-硅键合技术的MEMS压电超声换能器二维阵列的制备方法,并采用该方法制备了阵元间距小至150μm的密排二维换能器阵列。阵列中每个声学单元均为由上电极、压...
关键词：硅-硅键合 微机电压电超声换能器(pMUT) PZT膜 高频换能器阵列 医学超声成像 
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