郭剑锋

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：QCMPSPICE仿真石英晶体微天平湿度传感器等效电路模型更多>>
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基于QCM的湿度传感器等效电路模型研究被引量：1
《传感器与微系统》2017年第8期29-31,共3页郭剑锋 刘庆辉 郑国恒 杨洁 时朝晖 
河南省科技攻关计划资助项目(162102210018)
基于石英晶体微天平(QCM)的湿度传感器是一种以石英晶体为核心元件的新型高灵敏度传感器。根据气相中晶体振荡电路的起振和稳定条件,对晶体表面敏感薄膜吸附水分时等效电路参数的变化进行建模,得到了一种新型的基于QCM的湿度传感器等效...
关键词：石英晶体微天平 湿度传感器 PSPICE仿真 等效电路模型 
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