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纳米硅氧多层薄膜低温调控及其发光特性被引量：3
《光学精密工程》2018年第8期1960-1966,共7页李云 张博惠 高东泽 丛日东 于威 路万兵 
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61504036);河北省自然科学基金青年基金资助项目(No.A2016201087);河北省高等学校科学研究指导项目资助项目(No.Z2015121)
为了研究硅量子点薄膜在太阳电池中的应用,本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,低温制备了镶嵌有纳米晶硅(nc-Si)的纳米硅氧多层(nc-SiOx/a-SiOx)薄膜样品。TEM图显示,通过调整nc-SiOx层的厚度,实现了薄膜多层结构的低温调控...
关键词：纳米硅氧多层薄膜 微观结构 能带特征 光致发光 量子限制效应 
纳米晶硅多层薄膜的低温调控及其发光特性
《化工进展》2018年第4期1516-1521,共6页李云 高东泽 焦玉骁 张博惠 许贺菊 赵蔚 于威 路万兵 李晓苇 
国家自然科学基金青年基金(61504036);国家自然科学基金(11504078);河北省自然科学基金青年基金(A2016201087);河北省科技计划(13214315);河北省高等学校科学技术研究项目(Z2015121)
采用单-双靶交替溅射法低温沉积了纳米晶硅多层薄膜(nc-SiO_x/a-SiO_x),通过改变a-SiO_x势垒层的厚度和化学成分比例,实现了纳米晶硅多层薄膜的低温过程控制。透射电子显微镜(TEM)结果显示,a-SiO_x层太薄,不能有效阻断纳米硅生长,导致...
关键词：纳米晶硅 多层薄膜 显微结构 低温过程控制 纳米粒子 光致发光 
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