李云

作品数:5被引量:6H指数:2
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供职机构:河北大学更多>>
发文主题:光致发光纳米硅发光特性量子限制效应更多>>
发文领域:理学电气工程电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊:《光学精密工程》《人工晶体学报》《化工进展》更多>>
所获基金:河北省自然科学基金国家自然科学基金河北省科技计划项目国家教育部博士点基金更多>>
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纳米硅氧多层薄膜低温调控及其发光特性被引量:3
《光学精密工程》2018年第8期1960-1966,共7页李云 张博惠 高东泽 丛日东 于威 路万兵 
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61504036);河北省自然科学基金青年基金资助项目(No.A2016201087);河北省高等学校科学研究指导项目资助项目(No.Z2015121)
为了研究硅量子点薄膜在太阳电池中的应用,本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,低温制备了镶嵌有纳米晶硅(nc-Si)的纳米硅氧多层(nc-SiOx/a-SiOx)薄膜样品。TEM图显示,通过调整nc-SiOx层的厚度,实现了薄膜多层结构的低温调控...
关键词:纳米硅氧多层薄膜 微观结构 能带特征 光致发光 量子限制效应 
纳米晶硅多层薄膜的低温调控及其发光特性
《化工进展》2018年第4期1516-1521,共6页李云 高东泽 焦玉骁 张博惠 许贺菊 赵蔚 于威 路万兵 李晓苇 
国家自然科学基金青年基金(61504036);国家自然科学基金(11504078);河北省自然科学基金青年基金(A2016201087);河北省科技计划(13214315);河北省高等学校科学技术研究项目(Z2015121)
采用单-双靶交替溅射法低温沉积了纳米晶硅多层薄膜(nc-SiO_x/a-SiO_x),通过改变a-SiO_x势垒层的厚度和化学成分比例,实现了纳米晶硅多层薄膜的低温过程控制。透射电子显微镜(TEM)结果显示,a-SiO_x层太薄,不能有效阻断纳米硅生长,导致...
关键词:纳米晶硅 多层薄膜 显微结构 低温过程控制 纳米粒子 光致发光 
相变区纳米硅氧薄膜的微观结构及光学特性被引量:2
《光学精密工程》2017年第4期850-856,共7页李晓苇 李云 郑燕 高东泽 于威 
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61504036);河北省自然科学基金青年基金资助项目(No.A2016201087);河北省高等学校科学研究指导项目(No.Z2015121);河北省科技计划项目(No.13214315);教育部博士点基金项目(No.20131301120003);河北省高等学校科技研究项目(No.QN20131115)
为了研究硅异质结太阳电池中纳米硅氧薄膜的光电特性,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了一系列不同晶态比例的nc-SiOx∶H薄膜,利用拉曼散射光谱(Raman)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、紫外可见透射光谱以及稳/瞬态光致发光谱...
关键词:纳米硅氧薄膜 相变区 微观结构 光致发光 量子限制效应 
氢钝化对低温沉积nc-SiO_x/SiO_2多层薄膜发光特性影响机制研究
《人工晶体学报》2015年第12期3559-3564,共6页郑燕 李云 王新占 刘建苹 张瑜 于威 赖伟东 任丽坤 
国家自然科学基金(60878040);河北省自然科学基金(F2013201250);河北省科技厅项目(12963930D)
采用等离子体增强化学气相沉积技术实现了nc-SiO_x/SiO_2多层结构薄膜在220℃的低温沉积,并对其450℃N_2+H_2形成气体退火前后的微结构及其发光特性进行了研究。结果表明,直接沉积的纳米硅多层薄膜未观察到较明显的室温发光,而形成气体...
关键词:nc-SiOx/SiO2 低温沉积 光致发光 氢钝化 
氧化硅中纳米晶硅薄膜的低温沉积及其键合特性研究被引量:2
《人工晶体学报》2013年第6期1035-1040,共6页于威 王建涛 李云 郭少刚 朱海荣 傅广生 
以Ar和H2为溅射气体,采用Si和SiO2双靶活性溅射技术实现了镶嵌纳米晶硅(nc-Si)的富硅氧化硅(SiOx)薄膜的300℃低温生长,并分析了氢气掺入对薄膜微观结构及键合特性的影响。结果表明,氢气流量比的增加导致纳米硅粒子尺寸增加,而生长速率...
关键词:纳米晶硅 富硅氧化硅 低温沉积 微结构 
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