郭少刚

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：多晶硅薄膜晶粒低温退火氧化硅富硅氧化硅更多>>
发文领域：理学电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《光学学报》《功能材料》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金更多>>
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氧化硅中纳米晶硅薄膜的低温沉积及其键合特性研究被引量：2
《人工晶体学报》2013年第6期1035-1040,共6页于威 王建涛 李云 郭少刚 朱海荣 傅广生 
以Ar和H2为溅射气体,采用Si和SiO2双靶活性溅射技术实现了镶嵌纳米晶硅(nc-Si)的富硅氧化硅(SiOx)薄膜的300℃低温生长,并分析了氢气掺入对薄膜微观结构及键合特性的影响。结果表明,氢气流量比的增加导致纳米硅粒子尺寸增加,而生长速率...
关键词：纳米晶硅 富硅氧化硅 低温沉积 微结构 
非晶氧化硅薄膜带尾发光特性被引量：2
《光学学报》2012年第7期293-298,共6页于威 戴万雷 王新占 刘玉梅 郭少刚 郭亚萍 路万兵 傅广生 
国家自然科学基金(60940020;60878040)资助课题
采用等离子体增强化学气相沉积技术,通过改变CO2流量制备了不同氧含量的非晶氧化硅薄膜。利用紫外可见吸收谱、傅里叶红外吸收谱和稳态/瞬态光致发光谱等技术研究了薄膜的微观结构和光学特性。实验结果表明,随着氧含量的增加,薄膜的带...
关键词：光谱学 带尾态发光 光学吸收 时间分辨光谱 非晶氧化硅 
多晶硅薄膜的铝诱导晶化法制备及其晶粒的择优取向特性被引量：3
《功能材料》2012年第2期231-234,共4页于威 郭亚平 杨彦斌 郭少刚 赵一 傅广生 
国家自然科学基金资助项目(60878040);河北省自然科学基金资助项目(E2009000208)
采用铝诱导非晶硅薄膜晶化技术制备了多晶硅薄膜,并研究了多晶硅的成核和生长特性。非晶硅薄膜采用等离子体增强化学气相沉积法制备,其表面沉积铝薄膜后经不同温度的氮氛围退火处理。结果表明,退火后的硅薄膜层与铝层发生置换,所生长的...
关键词：铝诱导晶化法 多晶硅薄膜 低温退火 定向生长 
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