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PIAD成膜法的智能DLC薄膜——在燃料电池金属双极板领域的应用
《真空》2025年第2期68-76,共9页绪方洁 铃木泰雄 毕婷婷 
介绍了等离子注入成膜(PIAD)方式的原理和特征,即通过高频放电使原料气体离化而生成离子,然后将其注入到施有高压脉冲电压的基材中。描述了用PIAD方式成膜的类金刚石(DLC)薄膜的特征和应用案例,结果表明PIAD方式可以通过脉冲电压和其他...
关键词：DLC膜 燃料电池 金属双极板 薄膜涂层 
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