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具有激振和测振的新型压电微悬臂梁设计
《复旦学报（自然科学版）》2010年第6期674-680,695,共8页王锡明 周嘉 黄宜平 
国家自然科学基金(60876085)资助项目
设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸(长×宽×厚)为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时实现激振和测振功能的上电极形状;分析了上电极与信号传递函数值的关系,并对...
关键词：压电微悬臂梁 谐振传感器 优化设计模拟 锆钛酸铅 
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