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压电MEMS振动传感器信号采集系统设计与实现
《测试技术学报》2024年第6期695-702,共8页武晓慧 耿文平 丑修建 
针对硅基铌酸锂单晶薄膜压电MEMS振动传感器产生振动信号的特征,设计了基于FPGA平台的数据采集系统。该系统采用AD7606采样芯片,结合状态机的思想,完成了AD采样设计的时序图,实现了数据转换,转换后的数据使用FIFO进行存储,之后通过USB ...
关键词：压电MEMS振动传感器 电荷放大器 数据采集 加载加速度 电荷灵敏度 
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