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检索条件："关键词=双差动结构 "
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硅微超微压传感器设计被引量：1
《机械设计与制造》2007年第10期93-95,共3页邱峰 季霞 
在分析已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点和回顾它们微压化进展的基础上,确定了硅微超微压传感器(0～100Pa)的初步结构形式-电容式。针对设计过程中存在的主要难点:超薄平整感压薄膜的制备、高真...
关键词：硅微超微压传感器 双差动结构 结构与工艺设计 
硅微微压传感器研究进展被引量：1
《传感器与微系统》2006年第9期12-14,共3页夏文明 丁建宁 杨继昌 
浙江省科技攻关计划资助项目(2005C31048)
硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点，回顾了它们的微压化进展，并在此基础上确定了硅微超微压传感器（0～100Pa）的电容式结构形式。针...
关键词：硅微超微压传感器 电容式 双差动结构 
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