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COMSOL模拟电铸过程铜沉积制备微型探针针管
《稀有金属》2024年第3期388-397,共10页杨西荣 王苗 刘晓燕 李兆 罗雷 何晓梅 
国家自然科学基金项目(51474170);陕西省教育厅重点实验室项目(20JS075)资助。
仿真模拟预测电铸过程中铸造层的厚度变化是指导生产降低成本、提升电铸质量的重要方式。微型探针针管由于尺寸小、表面及理化性能要求高,一直是材料制备过程的难点。通过电化学测试确定模型输入参数,利用COMSOL软件电镀模块对电铸沉积...
关键词：电铸铜 微型探针针管 COMSOL 铸层厚度 组织形貌 
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