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检索条件："关键词=探针精确定位 "

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基于随机方法的AFM探针位置最优估算研究被引量：2: 《仪器仪表学报》2017年第9期2120-2129,共10页袁帅尧晓栾方军郭耸冯吉远; 中国国家自然科学青年基金(61305125);沈阳建筑大学学科内容教育工程(XKHY2-66);学校自然科学基金(2014068;2017028);国家博士后基金(2013M530955;2014T70265)项目资助; 由于受到驱动器PZT(Pb Zr Ti O3)非线性、系统温漂与其他不确定因素的影响,原子力显微镜(AFM)探针在任务空间的位置存在不确定性。这严重影响了AFM探针观测与操作的效率,如何减小探针位置的不确定性,实现AFM探针的精确定位成为亟待解决...; 关键词：探针精确定位运动模型局部扫描 KALMAN滤波参数标定

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