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检索条件:"关键词=Verilog-A硬件描述语言 "
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微机电系统光学组件的系统级建模被引量:3
《光学精密工程》2012年第5期1069-1075,共7页李晓莹 李慧敏 常洪龙 何洋 焦文龙 
国家863高技术研究发展计划(MEMS重大专项)资助项目(No.2007AA04Z347;No.2009AA04Z320)
为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真。首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束...
关键词:微机电系统(MEMS) 光学组件 建模 Verilog-A硬件描述语言 
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