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检索条件:"关键词=n^+-floating "
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New Lateral Super Junction MOSFETs with n^+-Floating Layer on High-Resistance Substrate被引量:2
《Journal of Semiconductors》2007年第2期166-170,共5页段宝兴 张波 李肇基 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60436030,60576052)~~
A new super junction LDMOST structure that suppresses the substrate-assisted depletion effect is designed with an n^+-floating layer embedded in the high-resistance p-type substrate by implanting phosphor or arsenic....
关键词:super junction LDMOST substrate-assisted depletion n^+-floating layer breakdown voltage 
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