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柔性衬底微晶硅薄膜太阳电池研究
《太阳能学报》2011年第10期1436-1439,共4页周丽华 刘成 叶晓军 钱子勍 陈鸣波 
采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了系列本征微晶硅薄膜材料和nip单结微晶硅太阳电池,研究了硅烷浓度、衬底温度和辉光功率等沉积参数与薄膜材料性能、薄膜电池性能三者之间的关系。拉曼光谱和器件测试结果表明:随硅烷浓度的...
关键词：硅烷浓度 衬底温度 辉光功率 柔性衬底 nip微晶硅电池 非晶硅/微晶硅叠层电池 
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