氧化剂对铝栅化学机械抛光的影响  

作　　者：张继红 

机构地区：[1]沈阳市装备制造工程学校机械教研室,辽宁沈阳110000

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2021年第6期163-163,共1页

摘　　要：本文通过实验分析方法,对抛光液中氧化剂的浓度,在铝栅化学机械抛光效果中的影响进行研究,以为有关实践及研究提供参考。本文通过实验分析方法,对抛光液中氧化剂的浓度,在铝栅化学机械抛光效果中的影响进行研究,以为有关实践及研究提供参考。

关 键 词：氧化剂 铝栅 化学机械抛光 影响 

分 类 号：TG580.692[金属学及工艺—金属切削加工及机床]