铁电薄膜C-V特性测量研究  

Study of Measuring C-V Characteristic in Ferroelectric Thin Films

作　　者：冯术成[1] 杨传仁[1] 陈宏伟[1] 符春林[1] 廖家轩[1] 尹开锯 

机构地区：[1]电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054

出　　处：《实验科学与技术》2005年第z1期129-131,共3页Experiment Science and Technology

摘　　要：采用TH2828型LCR测试仪及四端对接测量方法,搭建了铁电薄膜的介电特性测试平台。利用此测试平台对自制钛酸锶钡(简称BST)铁电薄膜材料的C-V特性进行测量,能准确表征铁电薄膜的介电特性。

关 键 词：铁电薄膜 C-V特性测量 四端对接 实验 

分 类 号：O482.531[理学—固体物理]