MEMS微加速度传感器的系统级仿真  

System Simulation of MEMS Microaccelerometer

作　　者：刘妤[1,2] 温志渝[1] 张流强[1] 梁玉前[1] 

机构地区：[1]重庆大学,重庆400044 [2]重庆工学院,重庆400050

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期293-295,共3页China Mechanical Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10176040);微米纳米加工技术国家重点实验室基金资助项目(514850202JW2001);教育部科学技术研究重大项目(0216);重庆大学MEMS设计联合开放实验室资助项目

摘　　要：概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.

关 键 词：MEMS CAD 微加速度传感器 系统级仿真 宏模型 

分 类 号：TH824[机械工程—仪器科学与技术]