超磁致伸缩薄膜微机械变形镜驱动器的研究  

Study on Micromachined Deformable Mirrors' Actuator with Giant Magnetostrictive Film

作　　者：赵泽宇[1] 侯德胜[1] 谌贵辉[2,3] 张万里[2] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209 [2]电子科技大学,成都610054 [3]西昌学院,西昌615022

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期151-155,共5页China Mechanical Engineering

摘　　要：分析了微机械变形镜MEMS驱动器的种类及其特点,并在磁致伸缩薄膜具有低磁场下的大形变、低功耗、高响应速度等特性基础上,提出了超磁致伸缩薄膜MEMS驱动器的原理.由于TbFe磁致伸缩薄膜在外加磁场作用下,微桥将在水平方向上产生伸长变形,从而引起微桥在垂直方向上发生位移.根据这一原理,设计了一种用于微机械变形镜MEMS驱动器的超磁致伸缩薄膜驱动结构,同时提出制作磁致伸缩薄膜连续式微机械变形镜的工艺流程.

关 键 词：超磁致伸缩薄膜 微机电系统 微机械变形镜 驱动器 微桥 

分 类 号：TN712.2[电子电信—电路与系统]