MEMS集成化设计方法及关键技术  

Integrated Methodology and Key Techniques for MEMS Design

作　　者：尤国平[1] 田凌[1] 郝文涛[1] 

机构地区：[1]清华大学,北京,100084 清华大学,北京,100084 清华大学,北京,100084

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期245-246,共2页China Mechanical Engineering

基　　金：国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716204)

摘　　要：针对MEMS设计的特点,在研究其设计过程和规律的基础上,提出一种MEMS集成化设计方法,该设计方法从方法论的角度探究了MEMS的最优设计问题.在集成化设计方法的基础上,研究MEMS工艺版图的三维重构和面向系统级仿真的宏模型构建方法,实现了MEMS集成化设计环境,有助于建立支持集成化设计的MEMS CAD软件系统.

关 键 词：MEMS 设计方法 三维重构 宏模型 

分 类 号：TH122[机械工程—机械设计及理论] TP391.9[自动化与计算机技术—计算机应用技术]