尤国平

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MEMS集成化设计方法及关键技术
《中国机械工程》2005年第z1期245-246,共2页尤国平 田凌 郝文涛 
国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716204)
针对MEMS设计的特点,在研究其设计过程和规律的基础上,提出一种MEMS集成化设计方法,该设计方法从方法论的角度探究了MEMS的最优设计问题.在集成化设计方法的基础上,研究MEMS工艺版图的三维重构和面向系统级仿真的宏模型构建方法,实现了M...
关键词：MEMS 设计方法 三维重构 宏模型 
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