微加速度传感器的研究现状及发展趋势  

Researching status and developing tendency of microaccelerometer

作　　者：刘妤[1,2] 温志渝[1] 张流强[1] 刘玉奎[1,3] 梁玉前[1] 

机构地区：[1]重庆大学光电工程学院,重庆400044 [2]重庆工学院车辆工程学院,重庆400000 [3]中国电子科技集团公司第24研究所,重庆400060

出　　处：《光学精密工程》2004年第z1期81-86,共6页Optics and Precision Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.10176040);微米纳米加工技术国家重点实验室基金资助(514850202JW2001);教育部科学技术研究重大项目(0216);光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助

摘　　要：基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.

关 键 词：微加速度传感器 MEMS 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]