用一维Mason模型模拟薄膜体声波谐振器研究  

作　　者：程伟[1] 

机构地区：[1]咸宁学院信息工程学院物理系,湖北咸宁437005

出　　处：《咸宁学院学报》2006年第6期52-53,共2页Journal of Xianning University

摘　　要：采用一维Mason模型,研究体声波谐振器的频率特性,探讨压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,研究谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.

关 键 词：体声波谐振器 Mason模型 压电薄膜 频率特性 

分 类 号：TN752.3[电子电信—电路与系统]