用于二维精密定位工作台的微位移机构设计  

Design of a micro-displacement structure for 2-D precision positioning

作　　者：郑静琳[1] 李玉和[1] 廖晓华[1] 李庆祥[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器及机械学系,北京100084

出　　处：《仪器仪表学报》2006年第z2期1435-1436,共2页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金："973"计划资助项目(2003CB716201)

摘　　要：微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一。本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析。Typical micro displacement structures are presented in this paper, with characteristics and problems of each analyzed. Furthermore, a 2-D displacement structure was developed based on the parallel leaf spring structure, which is supposed to be applied in a precision positioner for scanning probe system. The static characteristics of this structure was analyzed with finite element method.

关 键 词：微位移 柔性铰链 有限元方法 平行板 

分 类 号：TH7-55[机械工程—仪器科学与技术]