8×8 MEMS光开关阵列的制作  

Fabrication of 8×8 MEMS Optical Switch Array

作　　者：贾翠萍[1] 董玮[1,2] 周敬然[1] 刘彩霞[1] 臧会东 玄伟[1] 徐宝琨[1] 陈维友[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室,长春130012 [2]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室,长春130033

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第z1期343-346,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：吉林省科技发展计划资助项目(批准号:20050319)

摘　　要：采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开关结构进行了调整.在偏一定角度的(111)硅片上制作了倾斜的下电极.整个开关制作工艺简单,成本低.开关寿命大于1000万次,开关时间小于10ms.

关 键 词：光开关 (110)硅片 微反射镜 开关时间 

分 类 号：TN256[电子电信—物理电子学]