利用Linnik显微干涉技术测量微结构动态特性  

Measuring Dynamic Characterization of Micro-structures with Linnik Microscopic Interferometry

作　　者：谢勇君[1,2] 史铁林[1,2] 刘世元[1,2] 吴健康[1,2] 

机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074 [2]暨南大学电气自动化研究所,广东珠海519070

出　　处：《计量与测试技术》2009年第4期4-6,共3页Metrology & Measurement Technique

基　　金：国家自然科学基金(50775090);国家博士后科学基金(No.20070410930);国家自然科学基金重点项目(No.50535030);新世纪优秀人才支持计划(No.NCET-06-0639)

摘　　要：为了实现微结构的离面运动、幅频特性和谐振频率等动态参数的测量,设计开发了微结构动态测试系统,采用Linnik显微干涉结构,具有放大倍率高和工作距离长的特点。首先,系统利用频闪成像技术、五步相移方法和分割线去包裹算法测量微结构离面运动,然后,再通过扫频技术得到微结构的幅频特性和谐振频率。利用该测试系统对硅微悬臂梁的离面振动和幅频特性进行了测试,实验结果表明:硅微悬臂梁的谐振频率为13.03kHz,离面振动测量重复性误差小于10nm。系统具有较好的测量可重复性和较高的测量精度,能满足微结构动态特性测量对测试系统的性能要求。

关 键 词：微结构 Linnik 显微干涉 离面运动 幅频特性 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]