显微干涉

作品数：29被引量：76H指数：4
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蝙蝠翼效应下矩形光栅特征参数计算方法
《光学学报》2023年第22期80-88,共9页范筱昕 张佳乐 高志山 马剑秋 李赫然 陈露 雷李华 傅云霞 徐志毅 朱丹 郭珍艳 袁群 
国家自然科学基金(62175107,62205148);国家重点研发计划(2022YFF0706302);上海市自然科学基金(21ZR1483100);上海市优秀学术/技术带头人计划(21XD1425000)。
白光显微干涉术是微结构三维形貌无损测量的有效手段,但当沟槽深度小于光源相干长度时易产生蝙蝠翼效应。ISO-25178系列规定了由三维形貌计算沟槽深度和线宽两项特征参数的方法。该计算法则首先需要确定阶跃边缘位置,然而蝙蝠翼位于阶...
关键词：显微干涉 矩形光栅 蝙蝠翼效应 特征参数 二值化 
基于像差补偿的近红外显微干涉硅通孔测量被引量：2
《光学精密工程》2023年第3期301-312,共12页吴春霞 马剑秋 高志山 郭珍艳 袁群 
国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2005500);国家自然科学基金资助项目(No.62175107,No.U1931120);江苏省六大人才高峰项目(No.RJFW-019);中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室基金资助项目(No.KLOMT190201);上海在线检测与控制技术重点实验室基金资助项目(No.ZX2021102)。
为了实现深宽比大于6∶1的硅通孔的形貌测量,提出了一种基于像差补偿的近红外显微干涉检测方法。该方法采用近红外宽带光作为光源,能够穿透硅通孔,检测系统中内置变形镜自适应像差补偿模块,主动补偿硅通孔引入的调制像差。在检测硅通孔...
关键词：无损测量 光学显微干涉 自适应像差补偿 COMSOL仿真 硅通孔形貌 
磁粉检测灵敏度槽深的显微干涉检测方法研究
《计量与测试技术》2021年第9期58-60,64,共4页古耀达 何冠婷 张兢 杨昭信 邝俊杰 
国家市场监督管理总局科技计划项目(项目编号:2020MK126)。
磁粉检测标准灵敏度微米槽深的校准检测是长度计量检测的一项难点。目前,开展磁粉检测标准灵敏度微米槽深溯源的计量部门不多,已开展的仍使用接触式位移传感方式来磁粉检测标准灵敏度片离散的槽深度值,检测难度较大。本文介绍了一种用...
关键词：显微干涉 磁粉检测 标准灵敏度 微米槽深 
基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方法被引量：2
《应用光学》2021年第4期703-708,共6页胡乔伟 高志山 袁群 黄旭 孙一峰 王灵杰 张建萍 
国家重点研发计划(2019YFB2005500);中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室开放基金(KLOMT190201);江苏省六大人才高峰项目(RJFW-019)。
为了实时准确地将激光直写系统中经直写物镜聚焦的光斑定位于待加工元件表面,提出了一种基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方法,实现了对离焦量的实时检测与调整。在直写系统中引入检焦光路,与直写光路共享同一物镜,构建Linnik型同...
关键词：实时检测 同步相移 显微干涉 波像差 离焦量 
基于同步移相显微干涉的血红细胞形貌测量方法被引量：1
《应用光学》2020年第5期1020-1025,共6页徐君宜 袁群 高志山 徐尧 
国家自然科学基金(U1931120);中央高校基本科研业务专项(30917011107,30918014115-004,30919011277)。
血红细胞的形貌特征是医学领域对多种疾病进行预防和诊断的一项重要指标,提出一种同步移相显微干涉法实现对血红细胞形貌的动态测量。搭建了透射式显微干涉成像系统,测量了100μm内径模拟微血管内、名义直径为7μm^8μm、高度最大值为2...
关键词：形貌测量 同步移相 血红细胞形貌 显微干涉 
多波长显微干涉的光强一致性控制方法被引量：2
《激光与光电子学进展》2020年第3期114-121,共8页翟中生 黄娇洁 赵杭 李劲松 吕清花 王选择 
国家自然科学基金(51575164,51405143);湖北省教育厅重点项目(D20161406)。
提出一种多波长显微干涉光强一致性的控制方法。将光强可调的白光LED作为多波长光源,在显微干涉光路中加入光强探测器,将从不同滤光片出射光的光强实时反馈到STM32单片机中,通过PID(Proportion Integration Differentiation)控制快速调...
关键词：测量 多波长干涉 光强一致性 比例积分微分控制 干涉图像 
三维微结构显微干涉检测方法被引量：6
《电光与控制》2019年第11期1-5,共5页高志山 孙一峰 于颢彪 袁群 
国家重大仪器专项资助课题(2013 YQ150829);国家自然科学基金(61377015)
三维微结构在光陷阱、隐身与光场调控、超高压密封、人工生物材料等领域具有重要的应用价值。三维微结构的加工制造方法,包括激光直写、光刻、电子与化学蚀刻等先进制造方法发展迅速,其检测仪器有扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、激...
关键词：三维形貌 微结构 干涉检测 显微镜 
颗粒气泡黏附科学——微纳尺度下颗粒气泡黏附试验研究进展被引量：12
《煤炭学报》2019年第6期1857-1866,共10页邢耀文 桂夏辉 韩海生 孙伟 曹亦俊 刘炯天 
中国博士后科学基金面上资助项目(2018M642369);国家重点研发计划资助项目(2018YFC0604702);国家自然科学基金资助项目(51774286)
自20世纪30年代始,微纳尺度下的颗粒气泡黏附就引起了学者的广泛关注并逐渐涌现出一系列试验技术探索颗粒气泡黏附机理。在宏观尺度下颗粒气泡黏附研究进展的基础上,系统的对微纳尺度下颗粒气泡间相互作用力及液膜薄化破裂动力学试验技...
关键词：颗粒-气泡 作用力 液膜排液 显微干涉 AFM 
基于血红细胞特征体积模型匹配的慢速血流检测被引量：1
《光学学报》2019年第9期308-316,共9页陈铭 徐君宜 高志山 朱丹 袁群 
中央高校基本科研业务专项(30917011107,30918014115-004)
针对微血管中血流速度慢、血红细胞数量少的特点,采用同步移相显微干涉术实时测量血红细胞的相位,建立血红细胞特征体积模型,对多帧相位图进行特征血红细胞匹配,以实现慢速血流检测。利用牛红细胞阿氏液制备了流速在0.1~1.0 mm/s内可控...
关键词：医用光学 慢速血流检测 特征体积模型 同步移相显微干涉 
基于显微干涉的纳米探针测量系统
《仪表技术与传感器》2018年第10期51-54,58,共5页王生怀 吴小桐 徐风华 陈育荣 谢铁邦 
国家自然科学基金项目(51475150;51275159);国家留学基金项目(201308420014);中国博士后科学基金项目(2011M501199);湖北省教育厅科研项目(D20141802;Q20171805)
为实现微纳米结构的定量测量和定位观察需要,设计了一种基于显微干涉的纳米探针测量系统。该系统基于干涉显微镜基体,同时融合采用白光干涉法和激光干涉法来对纳米探针的纵向位移进行测量。所构成的探针系统能与光波直接溯源,能直接观...
关键词：纳米探针 白光干涉 激光干涉 可溯源 定位观察 
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