应力制约的InSb焦平面探测器均匀性  

Stress-limited nonuniformity of InSb focal plane array detectors

作　　者：曹光明[1] 耿东峰[1] 徐淑丽[1] 蒲季春[1] 杨雪锋[1] 李龙[1] 何英杰[1] 吴伟[1] 张国栋[1] 付浩[1] 

机构地区：[1]中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009

出　　处：《红外与激光工程》2007年第z1期67-69,共3页Infrared and Laser Engineering

摘　　要：采用焦平面探测器均匀性作为衡量InSb芯片承受应力的方法,通过工艺改进有效地降低了应力水平,提高了128×128 InSb焦平面探测器的均匀性,取得了响应非均匀性为3.0%的结果.

关 键 词：INSB 焦平面探测器 应力 均匀性 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]