吴伟

作品数:1被引量:1H指数:1
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应力制约的InSb焦平面探测器均匀性被引量:1
《红外与激光工程》2007年第z1期67-69,共3页曹光明 耿东峰 徐淑丽 蒲季春 杨雪锋 李龙 何英杰 吴伟 张国栋 付浩 
采用焦平面探测器均匀性作为衡量InSb芯片承受应力的方法,通过工艺改进有效地降低了应力水平,提高了128×128 InSb焦平面探测器的均匀性,取得了响应非均匀性为3.0%的结果.
关键词:INSB 焦平面探测器 应力 均匀性 
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