4×4区域调制多模干涉耦合器SOI光波导开关的设计  

Design of 4×4 Area Modulation Silicon-on-insulator Multimode Interference Coupler Optical Switch

作　　者：严清峰[1] 余金中[1] 刘忠立[2] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083 [2]中国科学院半导体研究所微电子中心,北京100083

出　　处：《半导体光电》2002年第3期174-177,共4页Semiconductor Optoelectronics

基　　金：国家自然科学重大基金资助项目(6 9990 5 4 0 ;6 9896 2 6 0 );"973"资助项目(G2 0 0 0 0 36 6 )

摘　　要：根据区域调制多模干涉耦合器光开关的工作原理 ,以 2× 2区域调制多模干涉光开关为基础 ,采用级联的方式设计了 4× 4区域调制多模干涉SOI光波导开关。用有限差分二维BPM方法模拟了器件在不同工作状态下的光场传输情况。器件工作波长为 1.5 5 μm ,在不计耦合损耗时器件的平均插入损耗小于 2 .0dB/cm。A 4×4 area modulation silicon on insulator (SOI) multimode interference coupler optical switch, composed of four cascaded 2×2 area modulation optical switches, has been designed. The finite difference 2D BPM has been used to analyze the device propagation characteristics. The device exhibits an average insertion loss of less than 2.0 dB/cm at 1.55 μm, when the coupling loss is neglected.

关 键 词：SOI 区域调制 光开关 多模干涉耦合器 

分 类 号：TN256[电子电信—物理电子学]