多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料和制备工艺  

The Substrates and Their Preparation for Polycrystalline Silicon Thin-Film Solar Cell

作　　者：张立明[1] 李海峰[2] 黄勇[1,2] 张厚兴[1,2] 万之坚[1] 许颖[3] 王文静[3] 

机构地区：[1]清华大学,材料科学与工程系,北京100084 [2]清华大学,深圳研究生院,广东深圳518057 [3]北京市太阳能研究所,北京100083

出　　处：《稀有金属材料与工程》2005年第z1期464-466,共3页Rare Metal Materials and Engineering

基　　金：北京市自然科学基金重点项目(2021001)

摘　　要：研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.

关 键 词：陶瓷衬底 多晶硅薄膜 太阳能电池 

分 类 号：TG174.1[金属学及工艺—金属表面处理]