液滴外延自组织GaAs纳米结构  

GaAs Nanostructures Formed by Self-Assembled Droplet Epitaxy

作　　者：詹锋[1] 黄社松[2] 倪海桥[2] 赵欢[2] 熊永华[2] 周宏余[1] 牛智川[2] 

机构地区：[1]北京师范大学材料科学与工程系,射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京100875 [2]中国科学院半导体研究所,半导体超晶格国家重点实验室,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2007年第z1期141-144,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划和国家重大基础研究专项基金资助项目

摘　　要：介绍了利用液滴外延法在晶格匹配体系AlGaAs/GaAs上自组织生长几种GaAs纳米结构.实验证实Ga液滴的形貌随晶化温度和As束流的不同而发生变化,形成一些有趣的GaAs纳米结构,如量子点、量子单环、量子双环、耦合量子双环和中国古币形状等.本文对这些纳米结构的生长机制进行了讨论.

关 键 词：液滴外延 量子点 量子单环 量子双环 

分 类 号：TN304.2+3[电子电信—物理电子学]