谐振梁式硅微惯性器件在地震监测中的应用研究  

Summarize of research based on MIMU integration storage test system

作　　者：刘俊[1] 郝一龙[1] 张文栋[1] 

机构地区：[1]北京大学,北京,100081 北京大学,北京,100081 北京大学,北京,100081

出　　处：《测试技术学报》2004年第z3期238-241,共4页Journal of Test and Measurement Technology

摘　　要：本文分析了国内外地震观测中采用的技术方法和研究现状及前景,综合分析了特殊的环境使用条件和测试过程中信息提取的模型考虑,针对谐振式硅微惯性器件的特点及使用要求,提出采用谐振式硅微惯性器件组合地震观测仪的思路,并介绍了该方案的构成和功能原理.

关 键 词：谐振梁 MEMS 惯性 地震观测 

分 类 号：TB9-55[一般工业技术—计量学]