IEDM发布新型内存解决方案  

作　　者：韩潇 

出　　处：《半导体信息》2009年第6期8-,共1页Semiconductor Information

摘　　要：IEDM是介绍微电子学、纳米电子学、生物电子学领域器件研究的会议。美国东海岸地区创新成果显著,本年度的会议将在巴尔的摩举办。届时,来自世界各地的企业,大学和国家实验室的研究者们将会发布215篇论文报告。

关 键 词：内存芯片 器件 气相化学反应 IEDM 光刻工艺 掩膜 

分 类 号：F416.6[经济管理—产业经济]