硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析  

New Development and Analysis of Silicon Micromachined Gyroscopes

作　　者：阮爱武[1,2,3] 冯培德[1,2,3] 郭秀中[1,2,3] 

机构地区：[1]西北工业大学 [2]飞行自动控制研究所 [3]南京航空航天大学

出　　处：《中国惯性技术学报》1998年第2期67-72,共6页Journal of Chinese Inertial Technology

摘　　要：介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。The new development of silicon micromachined gyroscopes is presented. The structures,working principles and performance of combdrive vibrating gyroscope, piezoelectric bar vibrating gyroscope,electromagnetic excitation tuning fork gyroscope, vibrating ring gyroscope, electrostatically suspended rotor gyroscope and micro-machined accelerometer gyroscope are described。

关 键 词：微机械陀螺仪 梳状静电驱动 压电驱动 电磁驱动 

分 类 号：V241.5[航空宇航科学与技术—飞行器设计]