ISI-2802激光直写系统简介  

出　　处：《光电工程》1997年第S1期113-113,共1页Opto-Electronic Engineering

摘　　要：ＩＳＩ┐２８０２激光直写系统简介微细加工光学技术国家重点实验室于１９９６年从加拿大引进了国内第一台激光直写系统（又称激光图形发生器），型号为ＩＳＩ－２８０２，生产厂家是ＩｎｔｅｒｔｅｃｈＳｙｓｔｅｍｓＩｎｃ．。１系统主要性能（１）可写范围：１５０ｍｍ...

关 键 词：激光直写系统 二元光学元件 掩模版 微细加工 国家重点实验室 激光图形发生器 二元光学器件 技术服务 净化水设备 光学技术 

分 类 号：TN249[电子电信—物理电子学]